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噴膠機 ASP系列
SPRAY COATER
設備配置 2-4 chambers (option: COT、DEV)
襯底材質(zhì) Si、Glass等
適用工藝 深孔噴膠TSV、高深寬比臺階噴膠
工藝指標 平面均勻性≤5%@5-10µm、臺階覆蓋率≥30%
應用領域 先進封裝、MEMS、科研等
設備尺寸 2665*2825*2550mm(W*D*H)
技術(shù)特征：
襯底材質(zhì) Si、Glass等
適用工藝 深孔噴膠TSV、高深寬比臺階噴膠
工藝指標 平面均勻性≤5%@5-10µm、臺階覆蓋率≥30%
應用領域 先進封裝、MEMS、科研等
設備尺寸 2665*2825*2550mm(W*D*H)
技術(shù)特征：
適用于表面刻有深孔的高表面形貌圓形或方形基片的噴涂工藝要求，超聲波霧化光刻膠膠粒
可均勻覆蓋臺階表面、邊緣、側(cè)壁、底部；
設備可配置勻膠腔體和顯影腔體；